全自動(dòng)襯底片激光打標(biāo)機(jī)
我公司研發(fā)生產(chǎn)的 MA-5000高速智能激光打標(biāo)機(jī)
1. 支持晶片尺寸范圍：2-6 INCH、4-8INCH、6-12 INCH；
2. 實(shí)現(xiàn)對(duì)不同晶圓材料的打標(biāo)，支持晶片材料類型：GaAs、Si、GaN、SiO2、Sapphire、SiC、InP、Ge、Quartz等；
3. 提供不同的理片、正片解決方案（支持平邊和NOTCH）；
4. 可實(shí)現(xiàn)硬打標(biāo)（Hard Marking）和軟打標(biāo)(Soft Marking)需求；
5. 可配備SEMI字體OCR識(shí)別模塊；
6. 可根據(jù)客戶需求配備非接觸式機(jī)械手指；
7. 可選配FOUP Load Port Transfer或SMIF Load Port Transfer。